电子式：SiHCl3。

三氯氢硅学名三氯硅烷，一种无机化合物，具有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体。溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。